MKS RPS AX7695 产品详情

产品概述

MKS RPS AX7695 是一款集成式远程等离子体源，主要应用于半导体制造工艺中。它将石英真空腔、射频电源和所有必要的控制电路集成在一个紧凑的自包含单元中，方便直接安装在工具工艺腔上。通过产生原子自由基，实现对晶圆表面特定反应的激发，从而达到处理的目的。

主要特点

• 集成设计： 将多个组件集成在一个紧凑的单元中，便于安装和维护。
• 高纯度等离子体： 提供高纯度的原子自由基，确保处理过程的清洁性和效率。
• 灵活配置： 可以根据不同的工艺需求进行灵活配置，如气体流量、功率等。
• 易于操作： 操作简单，便于集成到自动化生产线中。

应用领域

• 半导体制造： 用于晶圆表面清洗、改性、薄膜沉积等工艺。
• 微电子器件制造： 用于制造各种微电子器件。

技术参数（具体参数请以官方数据为准）

• 类型： 远程等离子体源
• 点火气体： 100% O2 或 Ar，或 90% O2/10% N2
• 工艺气体： 最高可达 6.0 slm 的 100% O2，或 90% O2/10% N2
• 工作压力： 0.5 – 2.0 Torr @ 1.0 – 6.0 slm
• 输出： 最高可达 6 slm 自由基
• 输入： 等离子体开关、功率设定