Description
ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板是一款高性能、高精度的位移测量干涉仪电子装置，属于ZYGO ZMI™系列产品线。该系列专为需要亚纳米级分辨率和高测量精度的工业和科研应用而设计。ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J采用6U VME总线接口，可以便捷地集成到标准的VME机箱系统中，实现多轴位移测量系统的快速搭建和扩展，理论上通过模块化添加，系统可支持高达64个测量轴。作为双轴测量板，ZMI-2002 8020-0211-1-J能够同时对两个独立的测量轴进行高精度、实时的位置监测，极大地提高了测量效率和系统的紧凑性。ZYGO的专利循环减小误差技术（Cyclic Error Reduction）被集成到ZMI-2002 8020-0211-1-J中，能够自动且无缝地消除DMI系统中常见的固有非线性误差，从而确保了卓越的测量精度和可靠性。ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板在半导体制造、精密仪器、科研实验等领域展现出强大的性能优势，是追求极致测量精度和稳定性的理想选择。
ZMI-2002 8020-0211-1-J ZYGO
技术规格
产品型号：ZMI-2002 8020-0211-1-J
制造商：ZYGO
产品类型：双轴位移测量干涉仪电子装置
接口类型：6U VME总线
测量轴数：2
分辨率：取决于光学配置，可达亚纳米级
最大测量速度：取决于光学配置
输入信号：来自ZYGO干涉仪头的正交编码信号
输出信号：数字位置数据
循环误差修正：集成ZYGO循环减小误差技术
供电电压：+5 VDC
工作温度:0°C至+50°C(典型)
存储温度:-20°C至+70°C(典型)
主要特点和优势
ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板的核心优势在于其卓越的测量精度和稳定性。集成的ZYGO专利循环减小误差技术能够有效地消除干涉仪系统中固有的非线性误差，显著提高测量的准确性，这对于需要极高位置精度的应用至关重要。作为一款双轴测量板，ZMI-2002 8020-0211-1-J能够同时处理两个测量轴的数据，简化了系统设计，降低了硬件成本，并提高了数据同步性。
VME总线接口的采用使得ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J能够方便地集成到各种基于VME总线的自动化和控制系统中，具有良好的兼容性和可扩展性。用户可以根据实际需求，通过在同一个VME机箱中添加更多的ZMI系列测量板，轻松扩展系统的测量轴数，最高可达64轴，从而满足复杂的多轴运动控制和测量应用的需求。
此外，ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J设计紧凑，可靠性高，适用于对环境要求较高的精密测量场合。其能够接收来自ZYGO各种高性能干涉仪头的正交编码信号，并输出高分辨率的数字位置数据，方便用户进行后续的数据处理和分析。高精度、多轴同步测量能力以及便捷的VME总线集成，使得ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板成为精密位移测量的理想选择。
ZMI-2002 8020-0211-1-J ZYGO
应用领域
ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板凭借其高精度和多轴同步测量能力，在多个高科技领域有着广泛的应用。在半导体制造领域，它被应用于光刻机、晶圆检测设备、步进扫描器等高端设备中，用于实现对晶圆和掩模的超精密定位和运动控制，直接影响着芯片的制造精度和良率。在精密仪器制造领域，ZMI-2002 8020-0211-1-J可用于各种高精度测量仪器，如原子力显微镜（AFM）、扫描隧道显微镜（STM）、以及各种精密坐标测量机（CMM），提供亚纳米级的位移反馈，确保仪器的测量精度和稳定性。
此外，ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板在科研领域也发挥着关键作用。在纳米技术研究、精密光学实验、以及其他需要高精度位移控制的实验中，该测量板能够提供准确可靠的位置数据，帮助科研人员进行精确的实验操作和数据分析。其多轴同步测量能力尤其适用于需要复杂运动控制和多点位移监测的场合。例如，在大型光学望远镜的镜面控制、高精度平台的运动控制等方面，ZMI-2002 8020-0211-1-J都能提供卓越的性能。
相关产品
与ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板相关联的产品包括：
ZMI-2000系列单轴VME测量板:ZYGO ZMI™系列中的单轴VME测量模块，适用于单轴高精度位移测量应用。
ZMI-500系列PCI测量板:ZYGO ZMI™系列中的PCI接口测量模块，提供另一种接口选择，适用于基于PCI总线的系统。
ZYGO干涉仪头(各种型号):ZYGO提供多种类型的干涉仪头，包括平面镜干涉仪、棱镜干涉仪等，与ZMI-2002 8020-0211-1-J等测量板配合使用，构成完整的位移测量系统。
ZYGO循环减小误差（CRE）选项:虽然ZMI-2002 8020-0211-1-J已集成CRE技术，但该技术也可作为其他ZMI系列产品的可选配置。
ZYGO环境补偿单元:用于补偿环境因素（如温度、气压、湿度）对激光波长的影响，进一步提高测量精度。
ZYGO MSA(Motion Stage Analyzer):一款用于分析和优化运动平台性能的工具，可与ZMI测量系统配合使用。
VME机箱和背板:用于安装ZMI-2002 8020-0211-1-J及其他VME模块的标准化工业机箱和总线结构。
运动控制系统:与ZMI-2002 8020-0211-1-J提供的精确位置反馈相结合，实现高精度的运动控制。
安装与维护
安装前准备：在安装ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板之前，请务必查阅相关的产品手册和VME总线规范，确保操作环境符合要求。确认VME机箱的电源能够满足模块的供电需求（+5VDC）。小心地将ZMI-2002 8020-0211-1-J插入VME背板的正确插槽中，并固定好面板螺丝。根据测量系统的配置，连接来自ZYGO干涉仪头的正交编码信号线到ZMI-2002 8020-0211-1-J的输入接口。确保所有连接牢固可靠，避免松动或接触不良。在首次上电前，务必再次检查电源连接和信号线连接是否正确，防止因错误接线导致模块损坏。
维护建议：为了保证ZYGO ZMI-2002 8020-0211-1-J双轴6U VME测量板的长期稳定运行和测量精度，建议定期进行维护。定期检查模块在VME机箱中的固定情况，确保没有松动。保持模块和VME机箱内部的清洁，避免灰尘和异物进入，影响散热和电气连接。定期检查信号线的连接是否牢固，是否有磨损或老化现象。建议按照ZYGO的建议定期对整个测量系统进行校准，以确保测量精度。由于ZMI-2002 8020-0211-1-J是一款高精度的电子设备，非专业人员请勿自行拆卸或维修，如有故障应及时联系ZYGO的售后服务部门。
ZMI-2002 8020-0211-1-J ZYGO
产品保障
ZYGO致力于为客户提供高质量的产品和完善的售后服务。
