Description
Brooks Automation 001-4130-03是一款晶圆对准器控制器，用于半导体制造，在各种加工步骤中精确对准硅晶圆。它在确保晶圆对准的准确性和均匀性方面起着至关重要的作用，这对于实现高质量的集成电路至关重要。
主要特点：
精确的晶圆对准：利用先进的对准算法和精密运动控制，以亚微米精度对准晶圆。
灵活的对准模式：支持各种对准模式，包括接触式、非接触式和基于标记的对准，满足不同的工艺要求。
实时监控和控制：提供对准参数的实时监控，并实现动态控制调整，以在整个过程中保持对准精度。
通信接口：支持与主机和自动化系统的通信，实现集成过程控制和数据管理。
紧凑和模块化设计：采用紧凑和模块化设计，可轻松集成到半导体制造设备中。
技术规格：
对准精度：亚微米
对准模式：接触式、非接触式、基于标记
监控参数：对准位置、旋转、倾斜和偏移
控制能力：动态对准调整、反馈控制回路
通信接口：RS-232、以太网
工作温度范围：0°C至+50°C（32°F至122°F）
防护等级：IP65
山西润盛进出口有限公司
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