描述
ZYGO ZMI-2002 双轴激光测量板卡产品详情
概述
ZYGO ZMI-2002 是一款用于 激光干涉仪 的 双轴测量板卡。它可以同时测量两个轴上的位置和速度，并提供高精度和高可靠性的测量结果。ZMI-2002 适用于各种需要高精度激光测量的应用，例如：
- 半导体制造
- 光学元件制造
- 精密机械加工
- 科学研究
主要特点
- 高精度: ZMI-2002 的测量精度可达 0.1 微米，可满足苛刻的测量要求。
- 高分辨率: 该板卡的分辨率为 24 位，可提供详细的测量数据。
- 高速度: ZMI-2002 的测量速度高达 10 kHz，可实现快速、动态的测量。
- 易于使用: 该板卡易于安装和使用，可与各种激光干涉仪系统兼容。
功能
- 位置和速度测量: ZMI-2002 可以同时测量两个轴上的位置和速度。
- 数据采集: 该板卡可以采集高精度、高分辨率的测量数据。
- 数据分析: ZMI-2002 可以对采集到的数据进行分析，并提供各种测量结果。
- 触发和同步: 该板卡支持外部触发和同步，可与其他设备同步工作。
应用示例
- 测量半导体晶圆表面平整度: ZMI-2002 可用于测量半导体晶圆表面平整度，以确保晶圆质量。
- 测量光学元件尺寸和形状: 该板卡可用于测量光学元件的尺寸和形状，以确保光学元件的精度。
- 测量精密机械部件尺寸和运动轨迹: ZMI-2002 可用于测量精密机械部件的尺寸和运动轨迹，以确保部件的精度和可靠性。
- 进行科学研究: 该板卡可用于进行各种科学研究，例如光学、机械和物理学研究。
产品规格
- 测量精度: 0.1 微米
- 分辨率: 24 位
- 测量速度: 10 kHz
- 通道数量: 2 个
- 接口: VME 或 PCI
- 工作温度: 0°C 至 +50°C
- 防护等级: IP65
山西润盛进出口有限公司
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