Description
ZYGO ZMI2002干涉仪产品详情
概述
ZYGO ZMI2002是一款高性能、高精度干涉仪,用于测量表面形貌。该干涉仪采用先进的光学技术和测量技术,可实现高精度、高分辨率的表面形貌测量。
产品特点
高精度:测量精度高达0.1 nm,可满足苛刻的测量要求。
高分辨率:分辨率高达0.5μm,可测量细微的表面形貌特征。
大测量范围:最大测量范围可达200 mm x 200 mm,可满足不同尺寸样品的测量需求。
非接触测量:采用非接触测量方式,不会损坏样品。
快速测量:测量速度快,可快速完成表面形貌测量。
易于使用:提供友好的用户界面,方便操作和使用。
技术规格
型号:ZMI2002
品牌:ZYGO
类型:干涉仪
测量精度:0.1 nm
分辨率:0.5μm
最大测量范围:200 mm x 200 mm
光源:激光
波长:633 nm
工作温度:0°C至40°C
湿度:20%至80%RH
尺寸:800 mm x 600 mm x 400 mm
重量:200 kg
功能
ZYGO ZMI2002干涉仪可提供以下功能:
表面形貌测量:测量样品的表面高度、粗糙度、坡度等参数。
表面缺陷分析:分析样品的表面缺陷,例如划痕、坑点、裂纹等。
三维表面重建:将测量结果重建成三维表面模型。
表面数据分析:对表面数据进行分析,例如计算表面面积、表面体积等。
应用
ZYGO ZMI2002干涉仪可应用于各种领域,例如:
半导体:用于测量芯片表面形貌、分析芯片缺陷。
光学:用于测量光学元件表面形貌、控制光学元件质量。
机械加工:用于测量机械零件表面形貌、控制零件尺寸精度。
生物医学:用于测量生物材料表面形貌、研究生物材料性能。
材料科学:用于研究材料表面形貌、分析材料性能。
典型应用
在半导体应用中,ZYGO ZMI2002干涉仪可用于测量芯片表面形貌、分析芯片缺陷。该干涉仪可以高精度地测量芯片表面高度、粗糙度等参数,并分析芯片表面缺陷,例如划痕、坑点、裂纹等,帮助芯片制造商提高芯片质量。
在光学应用中,ZYGO ZMI2002干涉仪可用于测量光学元件表面形貌、控制光学元件质量。该干涉仪可以高精度地测量光学元件表面形貌,例如透镜、反射镜等,并控制光学元件表面粗糙度、波形误差等参数,确保光学元件的光学性能。
在机械加工应用中,ZYGO ZMI2002干涉仪可用于测量机械零件表面形貌、控制零件尺寸精度。该干涉仪可以高精度地测量机械零件表面形貌,例如轴承、齿轮等,并控制零件表面粗糙度、尺寸精度等参数,确保零件质量。
在生物医学应用中,ZYGO ZMI2002干涉仪可用于测量生物材料表面形貌、研究生物材料性能。该干涉仪可以高精度地测量生物材料表面形貌,例如植入体、人工关节等,并研究生物材料表面形貌与生物相容性之间的关系。
在材料科学应用中,ZYGO ZMI2002干涉仪可用于研究材料表面形貌、分析材料性能。该干涉仪可以高精度地测量材料表面形貌,例如金属、陶瓷等,并研究材料表面形貌与材料性能之间的关系。山西润盛进出口有限公司
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